Rhoddir mwy a mwy o sylw i ddiogelu'r amgylchedd, yn enwedig gyda thywydd niwl yn cynyddu.Mae peirianneg ystafell lân yn un o'r mesurau diogelu'r amgylchedd.Sut i ddefnyddio peirianneg ystafell lân i wneud gwaith da ym maes diogelu'r amgylchedd?Gadewch i ni siarad am y rheolaeth mewn peirianneg ystafell lân.
Rheoli tymheredd a lleithder yn yr ystafell lân
Mae tymheredd a lleithder mannau glân yn cael eu pennu'n bennaf ar sail gofynion y broses, ond wrth fodloni gofynion y broses, dylid ystyried cysur dynol.Gyda gwelliant mewn gofynion glendid aer, mae tueddiad o ofynion llymach ar gyfer tymheredd a lleithder yn y broses.
Fel egwyddor gyffredinol, oherwydd cywirdeb cynyddol prosesu, mae'r gofynion ar gyfer ystod amrywiad tymheredd yn dod yn llai ac yn llai.Er enghraifft, yn y broses lithograffeg ac amlygiad o gynhyrchu cylched integredig ar raddfa fawr, mae'r gwahaniaeth mewn cyfernod ehangu thermol rhwng gwydr a wafferi silicon a ddefnyddir fel deunyddiau mwgwd yn dod yn fwyfwy bach.
Mae wafer silicon â diamedr o 100 μ m yn achosi ehangiad llinellol o 0.24 μ m pan fydd y tymheredd yn codi 1 gradd.Felly, mae angen tymheredd cyson o ± 0.1 ℃, ac mae'r gwerth lleithder yn gyffredinol isel oherwydd ar ôl chwysu, bydd y cynnyrch yn cael ei halogi, yn enwedig mewn gweithdai lled-ddargludyddion sy'n ofni sodiwm.Ni ddylai'r math hwn o weithdy fod yn fwy na 25 ℃.
Mae lleithder gormodol yn achosi mwy o broblemau.Pan fydd y lleithder cymharol yn fwy na 55%, bydd anwedd yn ffurfio ar wal y bibell ddŵr oeri.Os yw'n digwydd mewn dyfeisiau neu gylchedau manwl gywir, gall achosi damweiniau amrywiol.Pan fo'r lleithder cymharol yn 50%, mae'n hawdd ei rustio.Yn ogystal, pan fydd y lleithder yn rhy uchel, bydd y llwch sy'n glynu wrth wyneb y wafer silicon yn cael ei arsugnu'n gemegol ar yr wyneb trwy foleciwlau dŵr mewn aer, sy'n anodd ei dynnu.
Po uchaf yw'r lleithder cymharol, y anoddaf yw tynnu'r adlyniad.Fodd bynnag, pan fo'r lleithder cymharol yn is na 30%, mae gronynnau hefyd yn cael eu hamsugno'n hawdd ar yr wyneb oherwydd gweithrediad grym electrostatig, ac mae nifer fawr o ddyfeisiau lled-ddargludyddion yn dueddol o chwalu.Yr ystod tymheredd gorau posibl ar gyfer cynhyrchu wafferi silicon yw 35-45%.
Pwysedd aerrheolaethmewn ystafell lân
Ar gyfer y rhan fwyaf o fannau glân, er mwyn atal llygredd allanol rhag goresgyn, mae angen cynnal pwysau mewnol (pwysedd statig) yn uwch na phwysedd allanol (pwysedd statig).Yn gyffredinol, dylai cynnal gwahaniaeth pwysau gydymffurfio â'r egwyddorion canlynol:
1. Dylai'r pwysau mewn mannau glân fod yn uwch na'r pwysau mewn mannau nad ydynt yn lân.
2. Dylai'r pwysau mewn mannau â lefelau glendid uchel fod yn uwch na'r pwysau mewn mannau cyfagos â lefelau glendid isel.
3. Dylid agor y drysau rhwng ystafelloedd glân tuag at ystafelloedd gyda lefelau glendid uchel.
Mae cynnal a chadw gwahaniaeth pwysau yn dibynnu ar faint o aer ffres, a ddylai allu gwneud iawn am y gollyngiad aer o'r bwlch o dan y gwahaniaeth pwysau hwn.Felly ystyr ffisegol gwahaniaeth pwysau yw ymwrthedd i ollyngiad (neu ymdreiddiad) llif aer trwy fylchau amrywiol yn yr ystafell lân.
Amser postio: Gorff-21-2023