Mae diogelu'r amgylchedd yn cael ei roi fwyfwy o sylw, yn enwedig gyda chynnydd mewn tywydd niwl. Mae peirianneg ystafelloedd glân yn un o'r mesurau diogelu'r amgylchedd. Sut i ddefnyddio peirianneg ystafelloedd glân i wneud gwaith da o ran diogelu'r amgylchedd? Gadewch i ni siarad am y rheolaeth mewn peirianneg ystafelloedd glân.
Rheoli tymheredd a lleithder mewn ystafell lân
Mae tymheredd a lleithder mannau glân yn cael eu pennu'n bennaf yn seiliedig ar ofynion prosesau, ond wrth fodloni gofynion prosesau, dylid ystyried cysur pobl. Gyda gwelliant mewn gofynion glendid aer, mae tuedd i ofynion tymheredd a lleithder llymach yn y broses.
Fel egwyddor gyffredinol, oherwydd y cynnydd mewn cywirdeb prosesu, mae'r gofynion ar gyfer yr ystod amrywiad tymheredd yn mynd yn llai ac yn llai. Er enghraifft, yn y broses lithograffeg ac amlygiad o gynhyrchu cylched integredig ar raddfa fawr, mae'r gwahaniaeth mewn cyfernod ehangu thermol rhwng gwydr a wafers silicon a ddefnyddir fel deunyddiau masg yn mynd yn fwyfwy llai.
Mae wafer silicon gyda diamedr o 100 μ m yn achosi ehangu llinol o 0.24 μ m pan fydd y tymheredd yn codi 1 gradd. Felly, mae angen tymheredd cyson o ± 0.1 ℃, ac mae'r gwerth lleithder yn gyffredinol yn isel oherwydd ar ôl chwysu, bydd y cynnyrch yn cael ei halogi, yn enwedig mewn gweithdai lled-ddargludyddion sy'n ofni sodiwm. Ni ddylai'r math hwn o weithdy fod yn fwy na 25 ℃.
Mae lleithder gormodol yn achosi mwy o broblemau. Pan fydd y lleithder cymharol yn fwy na 55%, bydd anwedd yn ffurfio ar wal y bibell ddŵr oeri. Os bydd yn digwydd mewn dyfeisiau neu gylchedau manwl gywir, gall achosi amryw o ddamweiniau. Pan fydd y lleithder cymharol yn 50%, mae'n hawdd rhydu. Yn ogystal, pan fydd y lleithder yn rhy uchel, bydd y llwch sy'n glynu wrth wyneb y wafer silicon yn cael ei amsugno'n gemegol ar yr wyneb trwy foleciwlau dŵr yn yr awyr, sy'n anodd ei dynnu.
Po uchaf yw'r lleithder cymharol, y mwyaf anodd yw cael gwared ar y glynu. Fodd bynnag, pan fydd y lleithder cymharol yn is na 30%, mae gronynnau hefyd yn cael eu hamsugno'n hawdd ar yr wyneb oherwydd gweithred grym electrostatig, ac mae nifer fawr o ddyfeisiau lled-ddargludyddion yn dueddol o chwalu. Yr ystod tymheredd gorau posibl ar gyfer cynhyrchu wafer silicon yw 35-45%.
Pwysedd aerrheolaethmewn ystafell lân
Ar gyfer y rhan fwyaf o fannau glân, er mwyn atal llygredd allanol rhag goresgyn, mae angen cynnal pwysau mewnol (pwysau statig) yn uwch na phwysau allanol (pwysau statig). Dylai cynnal y gwahaniaeth pwysau gydymffurfio â'r egwyddorion canlynol yn gyffredinol:
1. Dylai'r pwysau mewn mannau glân fod yn uwch na'r pwysau mewn mannau nad ydynt yn lân.
2. Dylai'r pwysau mewn mannau â lefelau glendid uchel fod yn uwch na'r pwysau mewn mannau cyfagos â lefelau glendid isel.
3. Dylid agor y drysau rhwng ystafelloedd glân tuag at ystafelloedd â lefelau glendid uchel.
Mae cynnal y gwahaniaeth pwysau yn dibynnu ar faint o aer ffres sydd, a ddylai allu gwneud iawn am y gollyngiad aer o'r bwlch o dan y gwahaniaeth pwysau hwn. Felly ystyr ffisegol y gwahaniaeth pwysau yw ymwrthedd gollyngiad (neu ymdreiddiad) llif aer trwy wahanol fylchau mewn ystafell lân.
Amser postio: Gorff-21-2023