Telir mwy a mwy o sylw i ddiogelwch yr amgylchedd, yn enwedig gyda chynyddu'r tywydd haze. Mae peirianneg ystafell lân yn un o'r mesurau diogelu'r amgylchedd. Sut i ddefnyddio peirianneg ystafell lân i wneud gwaith da ym maes diogelu'r amgylchedd? Gadewch i ni siarad am y rheolaeth mewn peirianneg ystafell lân.
Rheoli tymheredd a lleithder yn yr ystafell lân
Mae tymheredd a lleithder lleoedd glân yn cael eu pennu'n bennaf yn seiliedig ar ofynion proses, ond wrth fodloni gofynion proses, dylid ystyried cysur dynol. Gyda gwelliant gofynion glendid aer, mae tueddiad o ofynion llymach ar gyfer tymheredd a lleithder yn y broses.
Fel egwyddor gyffredinol, oherwydd manwl gywirdeb cynyddol y prosesu, mae'r gofynion ar gyfer ystod amrywiad tymheredd yn dod yn llai ac yn llai. Er enghraifft, ym mhroses lithograffeg ac amlygiad cynhyrchu cylched integredig ar raddfa fawr, mae'r gwahaniaeth mewn cyfernod ehangu thermol rhwng gwydr a wafferi silicon a ddefnyddir fel deunyddiau masg yn dod yn fwyfwy bach.
Mae wafer silicon â diamedr o 100 μ m yn achosi ehangiad llinol o 0.24 μ m pan fydd y tymheredd yn codi 1 gradd. Felly, mae angen tymheredd cyson o ± 0.1 ℃, ac mae'r gwerth lleithder yn isel ar y cyfan oherwydd ar ôl chwysu, bydd y cynnyrch wedi'i halogi, yn enwedig mewn gweithdai lled -ddargludyddion sy'n ofni sodiwm. Ni ddylai'r math hwn o weithdy fod yn fwy na 25 ℃.
Mae lleithder gormodol yn achosi mwy o broblemau. Pan fydd y lleithder cymharol yn fwy na 55%, bydd anwedd yn ffurfio ar wal y bibell ddŵr oeri. Os yw'n digwydd mewn dyfeisiau manwl neu gylchedau, gall achosi damweiniau amrywiol. Pan fydd y lleithder cymharol yn 50%, mae'n hawdd rhydu. Yn ogystal, pan fydd y lleithder yn rhy uchel, bydd y llwch sy'n cadw at wyneb y wafer silicon yn cael ei adsorbed yn gemegol ar yr wyneb trwy foleciwlau dŵr mewn aer, sy'n anodd ei dynnu.
Po uchaf yw'r lleithder cymharol, anoddaf yw hi i gael gwared ar yr adlyniad. Fodd bynnag, pan fydd y lleithder cymharol yn is na 30%, mae gronynnau hefyd yn hawdd eu adsorbed ar yr wyneb oherwydd gweithred grym electrostatig, ac mae nifer fawr o ddyfeisiau lled -ddargludyddion yn dueddol o gael eu chwalu. Yr ystod tymheredd gorau posibl ar gyfer cynhyrchu wafer silicon yw 35-45%.
Mhwyseddreolafmewn ystafell lân
Ar gyfer y mwyafrif o fannau glân, er mwyn atal llygredd allanol rhag goresgyn, mae angen cynnal gwasgedd mewnol (gwasgedd statig) yn uwch na gwasgedd allanol (gwasgedd statig). Yn gyffredinol, dylai cynnal gwahaniaeth pwysau gydymffurfio â'r egwyddorion canlynol:
1. Dylai'r pwysau mewn mannau glân fod yn uwch na'r pwysau mewn mannau nad ydynt yn lân.
2. Dylai'r pwysau mewn lleoedd â lefelau glendid uchel fod yn uwch na'r hyn mewn lleoedd cyfagos â lefelau glendid isel.
3. Dylid agor y drysau rhwng ystafelloedd glân tuag at ystafelloedd sydd â lefelau glendid uchel.
Mae cynnal gwahaniaeth pwysau yn dibynnu ar faint o awyr iach, a ddylai allu gwneud iawn am y gollyngiad aer o'r bwlch o dan y gwahaniaeth pwysau hwn. Felly ystyr corfforol gwahaniaeth pwysau yw gwrthiant llif aer gollyngiadau (neu ymdreiddiad) trwy fylchau amrywiol yn yr ystafell lân.
Amser Post: Gorff-21-2023