Mae cysylltiad agos rhwng y cynnyrch sglodion yn y diwydiant gweithgynhyrchu sglodion â maint a nifer y gronynnau aer a adneuwyd ar sglodion. Gall trefniant llif aer da gymryd gronynnau a gynhyrchir o ffynonellau llwch i ffwrdd o ystafell lân a sicrhau glendid yr ystafell lân. Hynny yw, mae'r sefydliad llif aer yn Cleanroom yn chwarae rhan hanfodol yng nghynnyrch cynhyrchu sglodion. Y nodau sydd i'w cyflawni wrth ddylunio sefydliad llif aer ystafell lân yw: lleihau neu ddileu ceryntau eddy yn y maes llif er mwyn osgoi cadw gronynnau niweidiol; i gynnal graddiant pwysau positif priodol i atal croeshalogi.
Yn ôl egwyddor yr ystafell lân, mae'r grymoedd sy'n gweithredu ar ronynnau yn cynnwys grym torfol, grym moleciwlaidd, atyniad rhwng gronynnau, grym llif aer, ac ati.
Llu Llif Awyr: Yn cyfeirio at rym llif aer a achosir gan lif aer cyflenwi a dychwelyd, llif aer darfudiad thermol, cynnwrf artiffisial, a llifoedd aer eraill sydd â chyfradd llif benodol i gario gronynnau. Ar gyfer rheoli technoleg amgylcheddol ystafell lân, grym llif aer yw'r ffactor pwysicaf.
Mae arbrofion wedi dangos, wrth symud llif aer, bod gronynnau'n dilyn y llif aer bron yn union yr un cyflymder. Mae cyflwr gronynnau mewn aer yn cael ei bennu gan y dosbarthiad llif aer. Mae prif effeithiau llif aer ar ronynnau dan do yn cynnwys: llif aer cyflenwad aer (gan gynnwys llif aer cynradd a llif aer eilaidd), llif aer a llif aer darfudiad thermol a achosir gan bobl yn cerdded, ac effaith llif aer ar ronynnau a achosir gan weithrediadau proses ac offer diwydiannol. Mae gwahanol ddulliau cyflenwi aer, rhyngwynebau cyflymder, gweithredwyr ac offer diwydiannol, ffenomenau ysgogedig, ac ati mewn ystafelloedd glân i gyd yn ffactorau sy'n effeithio ar lefel y glendid.
1. Dylanwad y Dull Cyflenwi Aer
(1) Cyflymder cyflenwad aer
Er mwyn sicrhau llif aer unffurf, rhaid i'r cyflymder cyflenwi aer yn yr ystafell lân llif un cyfeiriadol fod yn unffurf; Rhaid i'r parth marw ar yr wyneb cyflenwi aer fod yn fach; a rhaid i'r cwymp pwysau o fewn hidlydd HEPA hefyd fod yn unffurf.
Mae'r cyflymder cyflenwad aer yn unffurf: hynny yw, mae anwastadrwydd y llif aer yn cael ei reoli o fewn ± 20%.
Mae llai o le marw ar yr wyneb cyflenwi aer: Nid yn unig y dylid lleihau arwynebedd awyren y ffrâm HEPA, ond yn bwysicach fyth, dylid defnyddio FFU modiwlaidd i symleiddio'r ffrâm ddiangen.
Er mwyn sicrhau bod y llif aer yn fertigol ac yn un cyfeiriadol, mae dewis gollwng pwysau'r hidlydd hefyd yn bwysig iawn, ac mae'n ofynnol na ellir rhagfarnu'r golled pwysau o fewn yr hidlydd.
(2) Cymhariaeth rhwng system FFU a system ffan llif echelinol
Mae FFU yn uned cyflenwi aer gyda ffan a hidlydd HEPA. Mae'r aer yn cael ei sugno i mewn gan gefnogwr allgyrchol y FFU ac yn trosi'r pwysau deinamig yn bwysedd statig yn y ddwythell aer. Mae'n cael ei chwythu'n gyfartal gan Hepa Filter. Mae'r pwysau cyflenwi aer ar y nenfwd yn bwysau negyddol. Fel hyn ni fydd unrhyw lwch yn gollwng i ystafell lân wrth ailosod yr hidlydd. Mae arbrofion wedi dangos bod y system FFU yn well na'r system ffan llif echelinol o ran unffurfiaeth allfa aer, cyfochrogrwydd llif aer a mynegai effeithlonrwydd awyru. Mae hyn oherwydd bod cyfochrogrwydd llif aer y system FFU yn well. Gall defnyddio'r system FFU wella'r sefydliad llif aer yn yr ystafell lân.
(3) dylanwad strwythur FFU ei hun
Mae FFU yn cynnwys cefnogwyr, hidlwyr, canllawiau llif aer a chydrannau eraill yn bennaf. Hidlydd HEPA yw'r warant bwysicaf ar gyfer ystafell lân i gyflawni'r glendid gofynnol sy'n ofynnol gan ddyluniad. Bydd deunydd yr hidlydd hefyd yn effeithio ar unffurfiaeth y maes llif. Pan ychwanegir deunydd hidlo garw neu blât llif at yr allfa hidlo, gellir gwneud y cae llif allfa yn unffurf yn hawdd.
2. Effaith rhyngwyneb cyflymder gyda glendid gwahanol
Yn yr un ystafell lân, rhwng yr ardal waith a'r ardal nad yw'n gweithio gyda llif un cyfeiriadol fertigol, oherwydd y gwahaniaeth ym nghyflymder aer yn y blwch HEPA, bydd effaith fortecs cymysg yn digwydd wrth y rhyngwyneb, a bydd y rhyngwyneb hwn yn dod yn gythryblus Parth Llif Awyr. Mae dwyster cynnwrf aer yn arbennig o gryf, a gellir trosglwyddo gronynnau i wyneb y peiriant offer a halogi'r offer a'r wafferi.
3. Effaith ar staff ac offer
Pan fydd yr ystafell lân yn wag, mae'r nodweddion llif aer yn yr ystafell yn gyffredinol yn cwrdd â'r gofynion dylunio. Unwaith y bydd yr offer yn mynd i mewn i ystafell lân, mae pobl yn symud, a chynhyrchion yn cael eu cludo, mae'n anochel bod rhwystrau i'r sefydliad llif aer, fel pwyntiau miniog sy'n ymwthio allan o'r peiriant offer. Yn y corneli neu'r ymylon, bydd y nwy yn dargyfeirio i ffurfio ardal llif gythryblus, ac ni fydd y hylif yn yr ardal yn hawdd ei gario i ffwrdd gan y nwy sy'n dod i mewn, gan achosi llygredd.
Ar yr un pryd, bydd wyneb yr offer mecanyddol yn cael ei gynhesu oherwydd gweithrediad parhaus, a bydd y graddiant tymheredd yn achosi ardal ail -lenwi ger y peiriant, sy'n cynyddu cronni gronynnau yn yr ardal ail -lenwi. Ar yr un pryd, bydd y tymheredd uchel yn hawdd achosi i'r gronynnau ddianc. Mae'r effaith ddeuol yn dwysáu'r haen fertigol gyffredinol. Yr anhawster o reoli glendid nentydd. Gall llwch gan weithredwyr mewn ystafell lân lynu'n hawdd at wafferi yn yr ardaloedd ail -lenwi hyn.
4. Dylanwad Llawr Aer Dychwelyd
Pan fydd gwrthiant yr aer dychwelyd sy'n mynd trwy'r llawr yn wahanol, bydd y gwahaniaeth pwysau yn digwydd, gan beri i aer lifo i gyfeiriad gwrthiant bach, ac ni cheir llif aer unffurf. Y dull dylunio poblogaidd cyfredol yw defnyddio llawr uchel. Pan fydd cymhareb agoriadol y llawr uchel ar 10%, gellir dosbarthu'r cyflymder llif aer yn gyfartal ar yr uchder gweithio dan do. Yn ogystal, dylid rhoi sylw llym i waith glanhau i leihau ffynhonnell y llygredd ar y llawr.
5. Ffenomen sefydlu
Mae'r ffenomen sefydlu, fel y'i gelwir, yn cyfeirio at y ffenomen o gynhyrchu llif aer i'r cyfeiriad arall i'r llif unffurf, gan ysgogi llwch a gynhyrchir mewn ystafell neu lwch mewn ardaloedd halogedig cyfagos i'r ochr gwyntog, a thrwy hynny achosi i'r llwch halogi'r wafer. Mae ffenomenau ysgogedig posib yn cynnwys y canlynol:
(1) Plât Dall
Mewn ystafell lân gyda llif unffordd fertigol, oherwydd y cymalau ar y wal, yn gyffredinol mae paneli dall mawr a fydd yn cynhyrchu llif cythryblus ac ôl-lif lleol.
(2) lampau
Bydd gosodiadau goleuo yn yr ystafell lân yn cael mwy o effaith. Gan fod gwres y lamp fflwroleuol yn achosi i'r llif aer godi, ni fydd y lamp fflwroleuol yn dod yn ardal gythryblus. Yn gyffredinol, mae'r lampau mewn ystafell lân wedi'u cynllunio mewn siâp teardrop i leihau effaith y lampau ar drefniadaeth llif aer.
(3) bylchau rhwng waliau
Pan fydd bylchau rhwng waliau rhaniad neu nenfydau gyda gwahanol ofynion glendid, gellir trosglwyddo llwch o ardaloedd â gofynion glendid isel i ardaloedd cyfagos sydd â gofynion glendid uchel.
(4) Y pellter rhwng yr offer mecanyddol a'r llawr neu'r wal
Os yw'r bwlch rhwng yr offer mecanyddol a'r llawr neu'r wal yn fach, bydd cynnwrf adlam yn digwydd. Felly, gadewch fwlch rhwng yr offer a'r wal a chodwch y platfform peiriant er mwyn osgoi cyswllt uniongyrchol â'r ddaear.
Amser Post: NOV-02-2023