Mae cyfradd cynnyrch sglodion yn y diwydiant gweithgynhyrchu IC yn gysylltiedig yn agos â maint a nifer y gronynnau aer a adneuwyd ar y sglodion. Gall trefniadaeth llif aer dda gymryd y gronynnau a gynhyrchir gan y ffynhonnell llwch i ffwrdd o'r ystafell lân i sicrhau glendid yr ystafell lân, hynny yw, mae trefniadaeth llif aer mewn ystafell lân yn chwarae rhan hanfodol yng nghyfradd cynnyrch cynhyrchu IC. Mae angen i ddyluniad trefniadaeth llif aer mewn ystafell lân gyflawni'r nodau canlynol: lleihau neu ddileu'r cerrynt troellog yn y maes llif i osgoi cadw gronynnau niweidiol; cynnal graddiant pwysau positif priodol i atal croeshalogi.
Grym llif aer
Yn ôl egwyddor yr ystafell lân, mae'r grymoedd sy'n gweithredu ar y gronynnau'n cynnwys grym màs, grym moleciwlaidd, atyniad rhwng gronynnau, grym llif aer, ac ati.
Grym llif aer: yn cyfeirio at rym y llif aer a achosir gan y llif aer a ddanfonir, y llif aer sy'n dychwelyd, y llif aer darfudiad thermol, y cymysgu artiffisial, a llifau aer eraill â chyfradd llif benodol i gario'r gronynnau. Ar gyfer rheolaeth dechnegol amgylchedd ystafell lân, grym y llif aer yw'r ffactor pwysicaf.
Mae arbrofion wedi dangos, wrth symud llif aer, fod y gronynnau'n dilyn symudiad llif aer bron yr un cyflymder. Mae cyflwr y gronynnau yn yr awyr yn cael ei bennu gan ddosbarthiad y llif aer. Mae'r llifau aer sy'n effeithio ar ronynnau dan do yn bennaf yn cynnwys: llif aer cyflenwad aer (gan gynnwys llif aer cynradd ac eilaidd), llif aer aer darfudiad thermol a achosir gan bobl yn cerdded, a'r llif aer a achosir gan weithrediad prosesau ac offer diwydiannol. Mae gwahanol ddulliau cyflenwi aer, rhyngwynebau cyflymder, gweithredwyr ac offer diwydiannol, a ffenomenau ysgogedig mewn ystafelloedd glân i gyd yn ffactorau sy'n effeithio ar lefel y glendid.
Ffactorau sy'n effeithio ar drefniadaeth llif aer
1. Dylanwad y dull cyflenwi aer
(1). Cyflymder cyflenwad aer
Er mwyn sicrhau llif aer unffurf, rhaid i gyflymder y cyflenwad aer fod yn unffurf mewn ystafell lân unffordd; rhaid i barth marw arwyneb y cyflenwad aer fod yn fach; a rhaid i'r gostyngiad pwysau yn yr ULPA fod yn unffurf hefyd.
Cyflymder cyflenwad aer unffurf: hynny yw, rheolir anwastadrwydd y llif aer o fewn ±20%.
Llai o barth marw ar yr wyneb cyflenwi aer: nid yn unig y dylid lleihau arwynebedd gwastad ffrâm ULPA, ond yn bwysicach fyth, dylid mabwysiadu FFU modiwlaidd i symleiddio'r ffrâm ddiangen.
Er mwyn sicrhau llif aer unffordd fertigol, mae dewis y gostyngiad pwysau yn yr hidlydd hefyd yn bwysig iawn, gan ei gwneud yn ofynnol na all y golled pwysau yn yr hidlydd wyro.
(2). Cymhariaeth rhwng system FFU a system ffan llif echelinol
Uned gyflenwi aer gyda ffan a hidlydd (ULPA) yw FFU. Ar ôl i'r aer gael ei sugno i mewn gan ffan allgyrchol FFU, mae'r pwysau deinamig yn cael ei drawsnewid yn bwysau statig yn y dwythell aer ac yn cael ei chwythu allan yn gyfartal gan ULPA. Mae pwysau'r cyflenwad aer ar y nenfwd yn bwysau negyddol, fel na fydd llwch yn gollwng i'r ystafell lân pan fydd yr hidlydd yn cael ei ddisodli. Mae arbrofion wedi dangos bod y system FFU yn well na'r system ffan llif echelinol o ran unffurfiaeth allfa aer, paralelrwydd llif aer a mynegai effeithlonrwydd awyru. Mae hyn oherwydd bod paralelrwydd llif aer system FFU yn well. Gall defnyddio'r system FFU wneud y llif aer yn yr ystafell lân yn fwy trefnus.
(3). Dylanwad strwythur FFU ei hun
Mae FFU yn cynnwys ffannau, hidlwyr, dyfeisiau canllaw llif aer a chydrannau eraill yn bennaf. Yr hidlydd effeithlonrwydd uwch-uchel ULPA yw'r warant bwysicaf ynghylch a all yr ystafell lân gyflawni'r glendid gofynnol o'r dyluniad. Bydd deunydd yr hidlydd hefyd yn effeithio ar unffurfiaeth y maes llif. Pan ychwanegir deunydd hidlo bras neu blât llif laminar at allfa'r hidlydd, gellir gwneud y maes llif allfa yn unffurf yn hawdd.
2. Effaith gwahanol ryngwynebau cyflymder glendid
Yn yr un ystafell lân, rhwng yr ardal waith a'r ardal nad yw'n gweithio o lif unffordd fertigol, oherwydd y gwahaniaeth yng nghyflymder yr aer wrth allfa'r ULPA, bydd effaith fortecs cymysg yn cael ei chynhyrchu wrth y rhyngwyneb, a bydd y rhyngwyneb hwn yn dod yn barth llif aer cythryblus gyda dwyster cythrwfl aer arbennig o uchel. Gall gronynnau gael eu trosglwyddo i wyneb yr offer a halogi'r offer a'r wafferi.
3. Effaith staff ac offer
Pan fydd yr ystafell lân yn wag, mae nodweddion llif yr aer yn yr ystafell yn gyffredinol yn bodloni'r gofynion dylunio. Unwaith y bydd yr offer yn mynd i mewn i'r ystafell lân, mae personél yn symud a chynhyrchion yn cael eu trosglwyddo, mae'n anochel y bydd rhwystrau i drefniadaeth llif yr aer. Er enghraifft, yng nghorneli neu ymylon ymwthiol yr offer, bydd y nwy yn cael ei ddargyfeirio i ffurfio parth cythryblus, ac ni chaiff yr hylif yn y parth ei gario i ffwrdd yn hawdd gan y nwy, gan achosi llygredd. Ar yr un pryd, bydd wyneb yr offer yn cynhesu oherwydd gweithrediad parhaus, a bydd y graddiant tymheredd yn achosi parth ail-lifo ger y peiriant, a fydd yn cynyddu croniad gronynnau yn y parth ail-lifo. Ar yr un pryd, bydd y tymheredd uchel yn achosi i'r gronynnau ddianc yn hawdd. Mae'r effaith ddeuol yn gwaethygu'r anhawster o reoli'r glendid laminar fertigol cyffredinol. Mae'n hawdd iawn i'r llwch o'r gweithredwyr yn yr ystafell lân lynu wrth y wafferi yn y parthau ail-lifo hyn.
4. Dylanwad llawr aer dychwelyd
Pan fydd gwrthiant yr aer sy'n dychwelyd sy'n mynd trwy'r llawr yn wahanol, bydd gwahaniaeth pwysau yn cael ei gynhyrchu, fel bod yr aer yn llifo i gyfeiriad llai o wrthiant, ac ni cheir llif aer unffurf. Y dull dylunio poblogaidd cyfredol yw defnyddio lloriau uchel. Pan fo cyfradd agor lloriau uchel yn 10%, gellir dosbarthu cyflymder llif aer yn gyfartal yn uchder gweithio'r ystafell. Yn ogystal, dylid rhoi sylw manwl i waith glanhau i leihau ffynhonnell llygredd y llawr.
5. Ffenomen anwythiad
Mae'r hyn a elwir yn ffenomen anwythol yn cyfeirio at y ffenomen lle mae'r llif aer yn cael ei gynhyrchu i gyfeiriad gyferbyn â'r llif unffurf, ac mae'r llwch a gynhyrchir yn yr ystafell neu'r llwch yn yr ardal halogedig gyfagos yn cael ei anwytho i'r ochr i fyny'r gwynt, fel y gall y llwch halogi'r sglodion. Dyma'r ffenomenau anwythol posibl:
(1). Plât dall
Mewn ystafell lân gyda llif unffordd fertigol, oherwydd y cymalau ar y wal, mae platiau dall mawr fel arfer a fydd yn cynhyrchu tyrfedd yn y llif dychwelyd lleol.
(2). Lampau
Bydd gan y gosodiadau goleuo yn yr ystafell lân effaith fwy. Gan fod gwres lampau fflwroleuol yn achosi i'r llif aer godi, ni fydd ardal gythryblus o dan y lampau fflwroleuol. Yn gyffredinol, mae'r lampau yn yr ystafell lân wedi'u cynllunio ar siâp deigryn i leihau effaith y lampau ar drefniadaeth y llif aer.
(3.) Bylchau rhwng waliau
Pan fo bylchau rhwng rhaniadau â gwahanol lefelau glendid neu rhwng rhaniadau a nenfydau, gall llwch o'r ardal â gofynion glendid isel gael ei drosglwyddo i'r ardal gyfagos â gofynion glendid uchel.
(4). Pellter rhwng y peiriant a'r llawr neu'r wal
Os yw'r bwlch rhwng y peiriant a'r llawr neu'r wal yn fach iawn, bydd yn achosi tyrfedd adlam. Felly, gadewch fwlch rhwng yr offer a'r wal a chodwch y peiriant i osgoi gadael i'r peiriant gyffwrdd â'r llawr yn uniongyrchol.
Amser postio: Chwefror-05-2025