Mae cysylltiad agos rhwng cyfradd cynnyrch y sglodion yn y diwydiant gweithgynhyrchu IC â maint a nifer y gronynnau aer a adneuwyd ar y sglodyn. Gall sefydliad llif aer da fynd â'r gronynnau a gynhyrchir gan y ffynhonnell llwch i ffwrdd o'r ystafell lân i sicrhau glendid yr ystafell lân, hynny yw, mae'r sefydliad llif aer yn yr ystafell lân yn chwarae rhan hanfodol yng nghyfradd cynnyrch cynhyrchu IC. Mae angen i ddyluniad y sefydliad llif aer mewn ystafell lân gyflawni'r nodau canlynol: lleihau neu ddileu'r cerrynt eddy yn y maes llif er mwyn osgoi cadw gronynnau niweidiol; Cynnal graddiant pwysau positif priodol i atal croeshalogi.
Llu Llif Awyr
Yn ôl egwyddor yr ystafell lân, mae'r grymoedd sy'n gweithredu ar y gronynnau yn cynnwys grym torfol, grym moleciwlaidd, atyniad rhwng gronynnau, grym llif aer, ac ati.
Llu Llif Awyr: Yn cyfeirio at rym y llif aer a achosir gan ddanfon, llif aer dychwelyd, llif aer darfudiad thermol, troi artiffisial, a llifoedd aer eraill sydd â chyfradd llif benodol i gario'r gronynnau. Ar gyfer rheolaeth dechnegol amgylchedd ystafell lân, grym llif aer yw'r ffactor pwysicaf.
Mae arbrofion wedi dangos bod y gronynnau, wrth symud llif aer, yn dilyn y symudiad llif aer bron yr un cyflymder. Mae cyflwr y gronynnau yn yr awyr yn cael ei bennu gan y dosbarthiad llif aer. Mae'r llifoedd aer sy'n effeithio ar ronynnau dan do yn cynnwys yn bennaf: llif aer cyflenwad aer (gan gynnwys llif aer cynradd a llif aer eilaidd), llif aer a llif aer darfudiad thermol a achosir gan bobl yn cerdded, a'r llif aer a achosir gan weithrediad proses ac offer diwydiannol. Mae gwahanol ddulliau cyflenwi aer, rhyngwynebau cyflymder, gweithredwyr ac offer diwydiannol, a ffenomenau ysgogedig mewn ystafelloedd glân i gyd yn ffactorau sy'n effeithio ar lefel y glendid.
Ffactorau sy'n effeithio ar drefniadaeth llif aer
1. Dylanwad dull cyflenwi aer
(1). Cyflymder cyflenwi aer
Er mwyn sicrhau llif aer unffurf, rhaid i'r cyflymder cyflenwad aer fod yn unffurf mewn ystafell lân un cyfeiriadol; Rhaid i barth marw arwyneb y cyflenwad aer fod yn fach; a rhaid i'r cwymp pwysau yn yr ULPA hefyd fod yn unffurf.
Cyflymder cyflenwad aer unffurf: hynny yw, mae anwastadrwydd y llif aer yn cael ei reoli o fewn ± 20%.
Parth llai marw ar yr wyneb cyflenwi aer: Nid yn unig y dylid lleihau arwynebedd awyren ffrâm ULPA, ond yn bwysicach fyth, dylid mabwysiadu'r FFU modiwlaidd i symleiddio'r ffrâm ddiangen.
Er mwyn sicrhau llif aer un cyfeiriadol fertigol, mae dewis gollwng pwysau'r hidlydd hefyd yn bwysig iawn, gan ei gwneud yn ofynnol na all y golled pwysau yn yr hidlydd wyro.
(2). Cymhariaeth rhwng system FFU a system ffan llif echelinol
Mae FFU yn uned cyflenwi aer gyda ffan a hidlydd (ULPA). Ar ôl i'r aer gael ei sugno gan y ffan allgyrchol o FFU, mae'r pwysau deinamig yn cael ei drawsnewid yn bwysedd statig mewn dwythell aer a'i chwythu'n gyfartal gan ULPA. Mae'r pwysau cyflenwi aer ar y nenfwd yn bwysau negyddol, fel na fydd unrhyw lwch yn gollwng i'r ystafell lân pan fydd yr hidlydd yn cael ei ddisodli. Mae arbrofion wedi dangos bod y system FFU yn well na'r system ffan llif echelinol o ran unffurfiaeth allfa aer, cyfochrogrwydd llif aer a mynegai effeithlonrwydd awyru. Mae hyn oherwydd bod cyfochrogrwydd llif aer y system FFU yn well. Gall defnyddio'r system FFU wneud y llif aer yn yr ystafell lân wedi'i drefnu'n well.
(3). Dylanwad strwythur FFU ei hun
Mae FFU yn cynnwys cefnogwyr, hidlwyr, dyfeisiau canllaw llif aer a chydrannau eraill yn bennaf. Yr hidlydd effeithlonrwydd uchel iawn ULPA yw'r warant bwysicaf ar gyfer a all yr ystafell lân gyflawni'r glendid gofynnol o'r dyluniad. Bydd deunydd yr hidlydd hefyd yn effeithio ar unffurfiaeth y maes llif. Pan ychwanegir deunydd hidlo bras neu blât llif laminar at yr allfa hidlo, gellir gwneud y cae llif allfa yn unffurf yn hawdd.
2. Effaith gwahanol ryngwynebau cyflymder glendid
Yn yr un ystafell lân, rhwng yr ardal waith ac ardal nad yw'n gweithio o lif un cyfeiriadol fertigol, oherwydd y gwahaniaeth mewn cyflymder aer yn allfa ULPA, bydd effaith fortecs cymysg yn cael ei chynhyrchu ar y rhyngwyneb, a bydd y rhyngwyneb hwn yn dod yn gythryblus parth llif aer gyda dwyster cynnwrf aer arbennig o uchel. Gellir trosglwyddo gronynnau i wyneb yr offer a halogi'r offer a'r wafferi.
3. Effaith staff ac offer
Pan fydd yr ystafell lân yn wag, mae'r nodweddion llif aer yn yr ystafell yn gyffredinol yn cwrdd â'r gofynion dylunio. Unwaith y bydd yr offer yn mynd i mewn i'r ystafell lân, symud personél a chynhyrchion yn cael eu trosglwyddo, mae'n anochel y bydd rhwystrau i'r sefydliad llif aer. Er enghraifft, ar gorneli neu ymylon ymwthiol yr offer, bydd y nwy yn cael ei ddargyfeirio i ffurfio parth cythryblus, ac nid yw'r hylif yn y parth yn hawdd ei gario i ffwrdd gan y nwy, gan achosi llygredd. Ar yr un pryd, bydd wyneb yr offer yn cynhesu oherwydd gweithrediad parhaus, a bydd y graddiant tymheredd yn achosi parth ail -lenwi ger y peiriant, a fydd yn cynyddu cronni gronynnau yn y parth ail -lenwi. Ar yr un pryd, bydd y tymheredd uchel yn hawdd achosi i'r gronynnau ddianc. Mae'r effaith ddeuol yn gwaethygu'r anhawster o reoli'r glendid laminar fertigol cyffredinol. Mae'n hawdd iawn cadw'r llwch o'r gweithredwyr yn yr ystafell lân at y wafferi yn y parthau ail -lenwi hyn.
4. Dylanwad Llawr Aer Dychwelyd
Pan fydd gwrthiant aer dychwelyd sy'n pasio trwy'r llawr yn wahanol, cynhyrchir gwahaniaeth pwysau, fel y bydd yr aer yn llifo i gyfeiriad llai o wrthwynebiad, ac ni cheir llif aer unffurf. Y dull dylunio poblogaidd cyfredol yw defnyddio lloriau uchel. Pan fydd cyfradd agoriadol y lloriau uchel yn 10%, gellir dosbarthu'r cyflymder llif aer yn uchder gweithio'r ystafell yn gyfartal. Yn ogystal, dylid rhoi sylw llym i waith glanhau i leihau ffynhonnell llygredd y llawr.
5. Ffenomen sefydlu
Mae'r ffenomen sefydlu, fel y'i gelwir, yn cyfeirio at y ffenomen bod y llif aer i gyfeiriad arall y llif unffurf yn cael ei gynhyrchu, a bod y llwch a gynhyrchir yn yr ystafell neu'r llwch yn yr ardal halogedig gyfagos yn cael ei gymell i'r ochr upwind, fel bod y llwch yn gallu halogi'r sglodyn. Mae'r canlynol yn ffenomenau sefydlu posibl:
(1). Blatiau
Mewn ystafell lân gyda llif un cyfeiriadol fertigol, oherwydd y cymalau ar y wal, yn gyffredinol mae platiau dall mawr a fydd yn cynhyrchu cynnwrf yn y llif dychwelyd lleol.
(2). Lampau
Bydd y gosodiadau goleuo yn yr ystafell lân yn cael mwy o effaith. Gan fod gwres lampau fflwroleuol yn achosi i'r llif aer godi, ni fydd unrhyw ardal gythryblus o dan y lampau fflwroleuol. Yn gyffredinol, mae'r lampau yn yr ystafell lân wedi'u cynllunio mewn siâp teardrop i leihau effaith y lampau ar y sefydliad llif aer.
(3.) Bylchau rhwng waliau
Pan fydd bylchau rhwng rhaniadau â gwahanol lefelau glendid neu rhwng rhaniadau a nenfydau, gellir trosglwyddo llwch o'r ardal â gofynion glendid isel i'r ardal gyfagos gyda gofynion glendid uchel.
(4). Pellter rhwng y peiriant a'r llawr neu'r wal
Os yw'r bwlch rhwng y peiriant a'r llawr neu'r wal yn fach iawn, bydd yn achosi cynnwrf adlam. Felly, gadewch fwlch rhwng yr offer a'r wal a chodwch y peiriant er mwyn osgoi gadael i'r peiriant gyffwrdd â'r ddaear yn uniongyrchol.
Amser Post: Chwefror-05-2025